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  清浄度測定サービス

  クリーンルームに長年携わってきた三基計装では清浄度測定の他にも 以下のような作業を同時に行うことも可能で、一貫したサービスとしてご提供させて頂けます。

＜ その他サービス・書類 ＞

フィルターリーク検査

各種フィルター交換作業（国内フィルターメーカ各社対応）

ケーシング内部クリーンアップ

測定器各種成績書添付（校正証明書・試験成績書・トレーサビリティ）

温度・湿度、静圧、風量（風速）など、各種測定や調整作業

クリーンルーム室内清掃

菌検査

• ISO 146441-1（現 国際規格）

  ①対象粒子径	お打ち合わせにより決定
  ②測定点数	ISO14644-1に準拠
  ③測定高さ	（基準）床上 1m
  ④サンプリング量	1m3(1,000ℓ)
  ⑤測定回数	1ポイント 1回測定

  Fed.Std209E（旧 規格）

  ①対象粒子径	お打ち合わせにより決定
  ②測定点数	√床面積
  ③測定高さ	（基準）床上 1m
  ④サンプリング量	28.3L/min（1CF）
  ⑤測定回数	1ポイント 3回測定

• 

  気中パーティクルカウンタでの室内清浄度の測定

その他サービス

• 

  フィルター交換

• 

  内装のクリーンアップ

• 

  エアロゾル発生器

• 

  リーク検査