三基計装株式会社の小型軽量高精度温度制御天置き型サーマルクリーンユニット「サーマルコンパクト」をご紹介します

Sunnix Line UP!

クリーン環境製品

天置き型サーマルクリーンユニット

清浄空気が必要な装置の上に置いて、装置へ直接風量１０ｍ^３／ｍｉｎの恒温空気を供給します。冷却水（チラー水）とヒータを使用して温度制御したＩＳＯ/ＪＩＳクラス５（ＦＥＤクラス１００/Ｍ３.５）のオールフレッシュエアタイプサーマルクリーンユニットです。チラー水を用意できない現場用には、冷凍機付きの兄弟機種もございます。

● 装置の上に載せるため軽量化

● ダクトレスでコンパクト

● 高精度温度制御　　　　　　　　　

● サーマルクリーンブース用途も可

[使用例]
半導体・液晶・精密機器・電子部品・ディスク（ＤＶＤ等）・バイオ関連等の製造ライン

項　　　目	仕　　　様
型　　　　　　式	ＳＣＣ－１０
清　　浄　　度	ＩＳＯ/ＪＩＳクラス５（ＦＥＤクラス１００/Ｍ３.５）吹出し部直下
集　塵　効　率	０．３μｍ粒子径にて９９．９７％
メインフィルタ	ＨＥＰＡフィルタ６１０×６１０×５０ mm １枚
風　　　　　　量	１０m³/min
送　　風　　機	ターボファン３Φ２００Ｖ５０Ｗ１台
冷　　却　　器	アルミフィンコイル
加　　熱　　器	フィンシーズヒータ３Φ２００Ｖ４ｋｗ１台
制御温度範囲	２０～３０℃±０．５℃
温度調節計	デジタル温度指示調節計ＰＩＤオートチューニング・ＳＳＲヒーター制御方式
冷　却　方　式	水冷式チラー水１０℃～１５℃、水量５～１０Ｌ／min
本　　　　　　体	アルミ板製、焼付塗装仕上
外　形　寸　法	Ｗ６４５ × Ｄ９００ × Ｈ４５０ mm （吹出部５７０ × ５７０ mm　）
質　　　　　　量	５６kg
安　全　装　置	漏電過負荷ブレーカ、サーマルリレー、過熱防止サーモ、異常警告表示灯
電　　　　　　源	３Φ２００Ｖ５０／６０Ｈｚ　１５Ａ