手軽に装置温度環境安定させます！　　　　　　　　　　　

薄型サーマルクリーンユニット　　サーマルコンパクト

直接装置の上に設置、風量9ｍ³／ｍｉｎの恒温空気を供給
冷却水（チラー水）を接続、温度は±0.5℃の制御を可能にします。
ＩＳＯ/ＪＩＳクラス５（ＦＥＤクラス１００/Ｍ３.５）のオールフレッシュタイプサーマルクリーンユニット。

お客様の声：　軽量なので設置がとにかく楽 　　　　　　　　　　　　　　　　　そこだけを温度安定させたい！と言う時に便利 　　　　　　　　　　　　　　　　　場所をとらないし操作も簡単。シンプルな機構なので故障もまず無いですね。 　　　　　　　　　といった声がよく聞かれます

　特長１：温度環境に無用な大型設備が不要に。
　特長２：装置に載せるだけで恒温環境が実現。
　特長３：人手で設置可能な軽量小型ユニット。

[使用例]　半導体・液晶・精密機器・電子部品・ＤＶＤ・バイオ関連等の製造ライン
　　フィルム等を高精度に処理されている工程に
　　液体等を安定した状態で使用されたい工程に
　　露光など薄膜工程には安定した温度とクリーンな環境が必要です

前面図	側面図